Vakuummålingsteknologi er en kritisk komponent i vakuumvitenskap og -teknologi, med økende krav i både forsvar og sivil sektor. Nøyaktig måling av vakuumtrykk er spesielt viktig. Vakuummålere er mye brukt i industriell produksjon, halvlederutstyr, atomindustri og andre felt. Globalt kjente produsenter av vakuummålere inkluderer MKS Instruments og INFICON. Det er to vanlige typer vakuummålere basert på deres driftsprinsipper: den ene er metallkapasitansvakuummåleren, representert ved MKS' tekniske tilnærming, og den andre er den keramiske kapasitansvakuummåleren, representert ved INFICONs tekniske tilnærming. Generelt gir metallkapasitansvakuummålere bedre ytelse enn keramiske kapasitansmodeller, noe som gjør dem mer utbredt.
Føleelementet til en metallkapasitansvakuummåler består av en kapasitiv struktur dannet av en metallmembran som er omtrent 40 μm tykk og en keramisk elektrode. Som vist i figurene ovenfor, strekkes metallmembranen med en stor strekkkraft før den sveises, og skaper en struktur som er i stand til å motstå overbelastningstrykk opptil hundrevis av ganger det nominelle området. Når vakuumtrykk påføres membranen, deformeres den, og endrer kapasitansen mellom metallmembranelektroden og den keramiske elektroden. Ved å måle denne kapasitansendringen og kalibrere den mot standard vakuumtrykkreferanser, kan den absolutte vakuumverdien bestemmes. For å forbedre målenøyaktigheten plasseres en getter inne i hulrommet.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. har uavhengig utviklet VG750-vakuummåleren, og oppnår ytelse som kan sammenlignes med MKS- og INFICON-produkter. Den dekker et måleområde fra 1 Torr til 1000 Torr og har blitt mye brukt i batchapplikasjoner innen halvleder- og atomindustrien. Ytelsesspesifikasjonene er oppført i tabellen nedenfor. Interesserte er velkomne til å kontakte oss for prøvebruk.
For mer informasjon, vennligst besøk vår nettside:mihuitec.com, eller sjekk ut produktsiden: China VG750 Metal Capacitive Diaphragm Gauge Manufacturers Suppliers Factory - Tilbud - Mihui Tech.
