Trykksensorer brukes til å måle trykket til væsker og gasser. Vanlige typer inkluderer MEMS silisium piezoresistive trykksensorer, MEMS silisium resonans trykksensorer, keramiske kapasitive trykksensorer, metall kapasitive trykksensorer, sputtered tynnfilm trykksensorer og metall strain gauge trykksensorer. Driftsscenarioene deres varierer avhengig av arbeidsprinsippet.
MEMS silisium piezoresistiv trykksensor:Dette er den mest brukte typen trykksensor. Hovedmåleområdet dekker 15 kPa til 100 MPa, med typisk nøyaktighet fra 0,05 % FS til 3 % FS. Driftstemperaturområdet er vanligvis -55 grader til 180 grader. Fordi den er kompatibel med{11}}storskala halvlederproduksjonsprosesser, er den rimelig. For væskemåling kreves oljefylt isolasjonsemballasje.
MEMS silisiumresonanstrykksensor: Denne sensoren bruker en genial design som konverterer trykk til en endring i resonansfrekvensen til en mikro-stråle. Fordi strålens frekvens bare avhenger av strukturen og temperaturen, og drar fordel av filtreringseffekter, oppnår denne sensoren en høy utgangsnøyaktighet på opptil 0,01 % FS. Dens hovedtrykkmåleområde dekker 100 kPa til 40 MPa, med et driftstemperaturområde på -55 grader til 85 grader. På grunn av kompleks produksjon og høye kostnader, er den egnet for applikasjoner som krever ekstremt høy presisjon, for eksempel halvlederbehandling og havdybdemåling.
Keramisk kapasitiv trykksensor:Keramisk materiale gir utmerket slitestyrke, noe som gjør denne sensoren egnet for måling av trykk i sand-slurryblandinger. Den gir også god korrosjonsbestandighet, noe som muliggjør måling av etsende væsker som svovelsyre. I tillegg tåler keramikkbaserte trykksensorer vannfrysing-en funksjon som ikke er oppnåelig med MEMS-sensorer.
Metall kapasitiv trykksensor:Denne sensoren bruker en metallmembran som en trykkfølsom bevegelig elektrode, og danner en kondensator med en fast elektrode. Når trykket virker på membranen, endres kapasitansen mellom elektrodene, og etablerer et trykk-kapasitansforhold. Metallmembraner kan lages av korrosjonsbestandige materialer som Inconel, og kan måle svært lave trykk (0–1/10/100/1000 Torr). Følgelig har den brede anvendelser innen vakuummåling og spesialgassmåling i halvlederindustrien.
SputteredThin-filmTrykksensor og metallstrekkmåler trykksensor:Begge sensorene har et kraftfølsomt-materiale belagt på en stor metalloverflate, noe som gjør produktet robust og holdbart. De er egnet for høytrykksområder og applikasjoner som krever høy pålitelighet, for eksempel gule varer, dieselmotorer og tunnelboremaskiner. Disse sensorene er ikke enkle å produsere til en absolutt trykksensor og kan typisk dekke maksimale områder opp til 200 MPa eller høyere. Det første bildet ovenfor viser en forstøvet tynn-filmsensorkjerne, mens det andre bildet viser en strekkmålerkjerne av metall.
Valg av trykksensor må være basert på faktiske driftsforhold for å utnytte ytelsen fullt ut. Mihui Technology spesialiserer seg på trykksensorer basert på ulike prinsipper, og tilbyr komplette design-, produksjons- og produksjonsmuligheter for å gi kundene de best passende løsningene. Velkommen til å kontakte oss hvis du er interessert:Telefonnummer: +8618066965135; E-post: mihuitec@gmail.com
