Basert på deres driftsprinsipper kan trykksensorer kategoriseres i flere typer, inkludert keramiske kapasitive, metallkapasitive, tynne-filmstrain gauge, strain gauge, silisium piezoresistive, silisium kapasitive og silisium resonanstyper. Blant disse tilbyr resonanstrykksensorer den høyeste nøyaktigheten, og oppnår presisjon på opptil 0,01 % FS over hele temperaturområdet (-40 grader til 85 grader). På grunn av deres eksepsjonelle nøyaktighet, er de mye brukt i applikasjoner som krever ekstremt høy trykkpresisjon, for eksempel havdybdemåling, trykkreferansestandarder, måling av flyparametere og meteorologisk overvåking. Årsakene til at silisiumresonanstrykksensorer oppnår en slik høypresisjonstrykkmåling er som følger:
1. Kjernestrukturen til en silisiumresonanstrykksensor er en symmetrisk dobbelt-klemt silisiumresonator. Resonansfrekvensen til resonatoren endres med påført trykk. Siden frekvens er en iboende egenskap til faste stoffer, er den mindre mottakelig for lav-støy og viser minimal variasjon med temperaturen. Denne naturlige filtreringseffekten resulterer i et høyt signal-til-støyforhold.
2. Den dobbelt-klemte resonatorstrukturen sikrer at når resonatoren vibrerer, er netto ekstern kraft null. I tillegg, på grunn av bruken av MEMS anodisk bindingsteknologi, opererer hele resonatoren i et vakuummiljø, og oppnår en høy kvalitetsfaktor.
3. Under designprosessen er spennings-avlastningsstrukturer innlemmet i de termisk sensitive områdene av resonatoren for å minimere termisk stress. Dette reduserer den termiske spenningen på resonatoren betydelig.
Xi'an Mihui Technologys silisiumresonanstrykksensorprodukter oppnår høy-trykkmåling med en nøyaktighet på 0,01 % FS over hele temperaturområdet. De tilbyr uovertruffen årlig stabilitet på 0,01 % FS og støtter både frekvensutgang og RS485 digital utgang. Disse sensorene dekker absolutte trykkmålinger fra 100 kPa til 1 MPa. Spesifikasjonene er som følger:
Interesserte er velkomne til å kontakte oss gjennom informasjonen som er gitt på nettsiden vår.
